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【2h】

A Low-Cost CMOS-MEMS Piezoresistive Accelerometer with Large Proof Mass

机译：一种低成本CmOs-mEms压阻式加速度计，具有大的质量

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Mohd Haris Md Khir; Hongwei Qu; Peng Qu;
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年度 2011
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1. A Low-Cost CMOS-MEMS Piezoresistive Accelerometer with Large Proof Mass [J] . Hongwei Qu, Mohd Haris Md Khir, Peng Qu Sensors . 2011,第8期

机译：具有大质量证明的低成本CMOS-MEMS压阻式加速度计
2. A Three-Axis Single-Proof-Mass CMOS-MEMS Piezoresistive Accelerometer with Frequency Output [J] . Yi Chiu, Tsung-Chih Huang, Hao-Chiao Hong Sensors and materials . 2014,第2期

机译：具有频率输出的三轴单质量CMOS-MEMS压阻加速度计
3. Implementation of a Monolithic Single Proof-Mass Tri-Axis Accelerometer Using CMOS-MEMS Technique [J] . Sun C.-M., Tsai M.-H., Liu Y.-C., Electron Devices, IEEE Transactions on . 2010,第7期

机译：利用CMOS-MEMS技术实现单片单质量三轴加速度计
4. A CMOS-MEMS piezoresistive accelerometer with large proof mass [C] . Haris Mohd, Qu Hongwei Proceedings of the 2010 5th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems . 2010

机译：具有大检测质量的CMOS-MEMS压阻式加速度计
5. Design and microfabrication of a CMOS-MEMS piezoresistive accelerometer and a nano-Newton force sensor. [D] . Md Khir, Mohd Haris. 2010

机译：CMOS-MEMS压阻式加速度计和纳米牛顿力传感器的设计和微制造。
6. A Low-Cost CMOS-MEMS Piezoresistive Accelerometer with Large Proof Mass [O] . Mohd Haris Md Khir, Peng Qu, Hongwei Qu 2011

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7. A Low-Cost CMOS-MEMS Piezoresistive Accelerometer with Large Proof Mass [O] . Khir, Mohd Haris Md, Qu, Peng, Qu, Hongwei 2011

机译：具有证明质量的低成本CMOS-MEMS压阻式加速度计
8. 3-axis force balanced accelerometer using a single proof-mass [R] . Lemkin, M. A. , Boser, B. E. , Auslander, D. , 1997

机译：使用单个质量块的3轴力平衡加速度计

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